Product laser
产品中心
支持G6代OLED TFT基板
兼容性好，支持OLED制程中所有膜层材料修复（P-Si/Mo/Ti /Al/ITO/Ag等）
选配灵活，可根据客户制程技术任意配置
修复成功率≥99.9%
精密的光路控制系统，高精度对位及定位精度
对接CIM系统，智能化/闭环反馈
| 设备尺寸 | 3600mm(W) x 4100mm(L)x 3400mm(H) |
| 设备环境（洁净度） | 低于100级 |
| 玻璃基板尺寸 | 支持G4.5/G6代 |
| 激光输出稳定性 | ≤ 2%，RMS |
| 平台精度 | 重复定位精度≤ ±1µm；定位精度<±3µm |
| 薄膜类型 | P-Si，Mo，Ti /Al/ Ti，ITO/Ag/ITO 等 |
| 设备产能 | 循环周期:≤60s&带顶升机构 |
