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Product laser

产品中心
TOPCon SE激光掺杂设备
产品简介
利用激光能量推动硼原子在硅片内扩散,实现选择性发射极SE结构。通过在金属栅线与硅片接触区域进行重掺杂、在正面其他区域保持轻掺杂,不仅可以在电极和发射极之间形成良好的欧姆接触,还可以减少发射极表面少子的复合,从而获得更高的短路电流、开路电压和填充因子,提高太阳能电池的光电转化效率。
产品特点

一次掺杂,工艺流程简单,经济性好

F-T匀化整形技术,光斑能量分布均匀,表面损伤小

所有与硅片接触部分均为非金属材质,降低污染影响,PL干净

掺杂曲线可自由优化,明显提高光电转换效率

高产能,高精度,高均匀性,高稳定性

选配多种在线检测功能,保障产品高良率

模块化设计,可根据客户需求定制,兼容性强

应用领域
TOPCon电池
技术指标
适用硅片尺寸 182mm~230mm,兼容各类矩形片
适用硅片厚度 100-180μm
设备产能 ≥9000pcs/h@182mm*182mm
图形精度 ≤±15μm@182mm
碎片率 ≤0.02%@182mm*182mm
上下料方式 AGV双层双轨进出或单层双轨进出
卡塞盒数量 5x2+1+1
应用案例
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